X線検査装置
（マルチフォーカスX線透過・CTシステム）

YXLON

Comet Yxlon社製X線検査装置

コメット・エクスロンは、ドイツ ハンブルクに生産工場を置く工業用CT・X線検査装置の専門メーカーです。ドイツ、日本、アメリカ、中国、台湾に現地法人を展開し、世界50ヵ国以上で販売とサービスを数十年にわたる経験とテクノロジーへの揺るぎない情熱を基盤に、世界のリーディングカンパニーとして工業用X線CTシステムのソリューションを提供しています。
エレクトロニクス業界では半導体、電子部品などの微細化に伴い、高分解能での非破壊検査・解析能力がX線透視、X線CTに求められています。一方、車載分野を中心に機電一体モジュールの普及に伴い、高出力かつ高分解能のX線検査装置が求められるようになっています。
Comet Yxlon社製X線検査装置は、上記ニーズを踏まえた装置開発により世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、様々なエレクトロニクス業界のアプリケーションに対応できるX線透視・CT装置を提供しています。

X線検査装置シリーズ

Cougar EVO/Cheetah EVOは、透視観察においてナノ・マイクロ・ハイパワーモードと用途によって切替可能なマルチで高品質な撮影モードと、ティーチングによる自動検査モード、電子部品向けmicroCT（直交CT機能）、実装基板向けmicro3D（斜めCT機能）、リフローシミュレータオプション（Cheetah専用オプション）と幅広い用途に活躍できるマルチフォーカスX線透視・CT装置です。

Cougar EVO
X線検査装置 Cougar EVO
  • 次世代のCTと自動検査
  • micro3Dsliceによるクラス最高のラミノグラフィーによりマイクロセクショニングに比べ大幅なコスト削減
  • ワークフローを改善したFF CTソフトウェア
  • お客様の仕様に合わせて最適化
  • 繊細な部品のためのドージングモード
  • スモールフットプリント
特長
  • 高感度型16ビット（65,536段調）フラットパネルディテクタによる抜群の表現力
  • マイクロフォーカスイメージで電子部品や実装基板などの解析・検査用途で活躍
  • 省スペースに適した1,100 x1,050mmフットプリント設計
  • 直行CT/斜めCTオプション搭載可能
Cougar EVO 製品仕様
サンプルサイズ 440x550[mm]（17''x21''）
装置寸法 W1000xD1050xH2200[mm]
装置重量 1,450kg
FeinFocus X線発生器 マイクロフォーカス型FXT-160.50、もしくはマルチフォーカス型FXT-160.51よりセレクト
管電圧20-160kV
X線検出器Pixel数 1004x620px（Y.Panel 1308）,1004x1004px（Y.Panel 1313）,1276x1276px（ORYX 1616）
Pixelサイズ 127µm2
階調 16bit
アングル観察 ＋/-65°（130°）　※リファレンスドライブ時+/-70°（140°）
最大検査エリア 310×310[㎜]（12''×12''）
3Dモード 斜めCT（micro3D）,直交CT（microCT * Quick ＆ Qualityモードあり）※オプション
Cheetah EVO
X線検査装置 Cougar EVO
  • 進化したCT（コンピュータ断層検査）と自動検査
  • トップレベルの高感度・高階調を誇る大型フラットパネルディテクタ
  • クラス最高の断層撮影を実現するmicro3Dslice（斜めCT機能）とFF CTソフトウェア
  • X線被ばくにセンシティブな電子部品にも対応できる線量モード
  • 高荷重サンプルに対応（20kgまで）
  • 撮影ニーズに合わせた画像最適化が可能
特長
  • 高感度型16ビット（65,536段調）フラットパネルディテクタによる抜群の表現力
  • ナノフォーカスモード・マイクロフォーカスモード・ハイパワーモードとマルチ用途に対応可能な自社製X線管搭載
  • 電子部品だけではなく、樹脂部品、ゴム部品、金属部品等様々な用途に有効
  • 直行CT/斜めCTオプション搭載可能
  • リフローシミュレーターオプション搭載可能
Cheetah EVO 製品仕様
サンプルサイズ 800x500[mm]（31''x19''）
装置寸法 W1650xD1400xH2050[mm]
装置重量 2,200kg
FeinFocus X線発生器 マイクロフォーカス型FXT-160.50、もしくはマルチフォーカス型FXT-160.51よりセレクト
管電圧20-160kV
X線検出器Pixel数 1004x620px（Y.Panel 1308）,1004x1004px（Y.Panel 1313）,1276x1276px（ORYX 1616）
Pixelサイズ 127µm2
階調 16bit
アングル観察 ＋/-65°（130°）　※リファレンスドライブ時+/-70°（140°）
最大検査エリア 460×410[㎜]（12''×12''）
3Dモード 斜めCT（micro3D）,直交CT（microCT * Quick ＆ Qualityモードあり）※オプション

撮影例

TSV画像
TSV画像
10μm TSV
ワイヤ画像
TSV画像
Wire bonds in QFN
LED
LED module
LED module,　Through & Blind hole failures
LED short circuit wire bonds
LED short circuit wire bonds
BGA検査
BGA検査
Voiding measurement　of 15μm copper pillar

デジタルフラットパネルディテクター表現力

16ビット（65000階調）フラットパネルによる抜群の表現力
デジタルフラットパネルディテクター表現力
Easily visible die detail
16ビット（65000階調）フラットパネルによる表現力
lip-chip pin grid array, FCPGA
Flip chip bump area voiding

オプションシステム

リフローシミュレーター
リフローシミュレーター
  • 加熱炉をX線検査装置内部に設置することでリフロー環境を実現
  • ハンダが溶融する過程をリアルタイムで観察可能
  • N2環境対応も可能
  • 加熱環境設定は常温～380℃
    ※Cheetah EVO用オプションとなります

カタログ

Comet Yxlon社製X線検査装置のカタログを下記よりダウンロードいただけます。

【Comet Yxlon社製X線検査装置 製品総合カタログ】
X線検査装置カタログ

X線検査装置
【Cougar EVO】
Cougar EVOカタログ
【Cheetah EVO】
Cheetah EVカタログ
リフローシミュレーター
【リフローシミュレーター】
リフローシミュレーターカタログ
マイクロCTシステム
【FF20 CT】
マイクロCTシステム FF20 CTカタログ
【FF35 CT】
マイクロCTシステム FF35 CTカタログ
最先端パッケージ向けサブミクロン3DX線
【CA20 】
最先端パッケージ向けのサブミクロン3DX線 CA20カタログ

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