New Products新製品情報
新製品情報
四重極型質量ガス分析計
ランニングコストを削減し、収益向上に貢献
業界最高クラスのデータ収集速度、最小検知分圧（MDPP）、S/N比を実現する、スタンダード、およびハイパフォーマンス残留ガス分析機（RGA）プロセス監視システムです。ランニングコストが低く、平均故障間隔（MTBF）長く、時にMPHは他の残留ガス分析器（RGA）と比較して最終的な収益向上の実現が可能です。
デュアルフィラメント設計により、バックアップ用のフィラメントが予期せぬシステムダウンを防ぎ、RGAの長期稼働が可能となります。
パワーデバイス向け高速3DCT型ハイパワーX線自動検査装置
3DCTを活用してクラス最高のテクノロジーを可視化
ハイパワーX線により、多層実装・厚みのある製品の検査に対応可能な高速3DCT型X線検査装置です。多層実装やはんだ量が一定でない部品、厚みのある放熱板を搭載した製品（IGBTやパワーカード等）でも、はんだ接合部の安定したボイド検査を実現します。また、独自センシング＋制御技術により高速インラインを実現し、自動搬送・自動検査では業界トップクラスのスピードを可能とします。
インテリジェント部品管理システム
部品管理の自動化、省スペースを実現
生産ラインに隣接設置できる様、コンパクトに設計された部品管理システムで、必要な台数を必要な場所に設置でき、柔軟性・拡張性を兼ね備え、部品管理を飛躍的に改善し、生産現場の効率アップに貢献します。自動化による手作業、介在業務の削減、入出庫時間の短縮が可能で、部品の在庫管理における先入れ先出し、防湿部品の管理に対応します。
リアルタイムAMCモニタリング装置
大気中化学汚染物質のリアルタイムモニタリング
1つのソリューションで複数のAMCカテゴリーを堅牢かつ同時に測定することができるリアルタイムAMCモニタリング装置です。大気を直接サンプリング、クロマトグラフィーを使用せず、複雑な混合物の揮発性有機化合物（VOC）および揮発性無機化合物（VIC）をリアルタイムで定量・特性評価・レポートが可能です。また、様々な種類の化合物に対してpptv未満の検出限界（LOD）を実現します。
MEMS用テスタ
MEMS用テスタのマーケットリーダー
MEMSの特性検査、キャリブレーションに必要な物理的刺激、包括的な電気テスト、高速ピック＆プレースハンドラ、信頼性の高いDUTコンタクト（テストソケット）で構成されたMEMS用テスタです。MEMSデバイスのすべての機能を実際の動作と同じ物理的条件下で制御することができます。
MEMSの量産が始まった当初からSPEAはMEMS業界大手メーカー様向けに最先端・最適なソリューションを開発、導入してきました。SPEAのMEMS用テストセルは、標準パッケージまたはチップスケールパッケージング技術で製造された半導体やMEMSデバイスの3×温度試験用に設計されており、1台の装置で両方のタイプのデバイスを扱えるという大きなアドバンテージがあります。