パワーデバイス用電気特性検査システム

About SPEA

SPEA社

自動車業界、インダストリアル業界からメディカル、航空宇宙、軍需防衛分野まで

クリエイティビティ（創造性）、イノベーション（革新性）、インジェニュイティ（創意工夫）をキーワードに、 SPEA社はイタリア・トリノ郊外、ピエモンテ州ヴォルピャーノに1976年に設立されました。以来、半導体IC、MEMS、プリント基板、モジュール用の最高のATE（自動検査装置）を設計・製造しており、ハイテク分野におけるグローバルリーダーであり続けるために日々努力を重ねています。
SPEAのATEは幅広い業界・分野で活用されており、自動車、スマートフォン、タブレットから最も複雑な航空宇宙、メディカル、軍需防衛機器で使用されている様々な半導体・MEMS・プリント基板向けに、製品品質と信頼性を保証するためのテストソリューションを提供しています。

SPEA社製パワーデバイス用電気特性検査システム DOT800T

ISO、AC、DC　全てを1台のテスターで

SPEA社製パワーデバイス用電気特性検査システム DOT800Tは、パワーデバイスに必要な全ての電気特性検査を1台で対応するオールインワンテスタです。ウェーハレベルから最終製品テストまで、あらゆるパワーデバイス・アプリケーションでのISO、AC、DCテストがこの1台のテスタで実施可能です。
DOT800Tは、従来のシリコンデバイスだけでなく、窒化ガリウムおよびシリコンカーバイド技術のテストにも対応しており、高電圧・高電流出力モジュール、高周波および低電流測定機能で、それらの性能範囲をカバーします。品質と信頼性を保証するために、完全で正確な動的テスト、静的テスト、および絶縁テストシーケンスを使用して、実際の利用条件下での正しいデバイス動作が検証されます。これら全ての機能が、大量生産環境向けに設計され、高スループットのモジュール式で構成可能なテスターに搭載されています。

特長

パワーデバイスに必要な全ての電気特性検査を1台で対応
ウェハ、ディスクリート（Si、SiC、GaN）、IPM、DBC、AMB、IGBTモジュールに対応
全てのパワーデバイス・アプリケーションに対応した高電圧・高電流出力モジュールを選択可能
25nH以下の寄生インダクタンス（配線インダクタンス）、過電圧は常にブレークダウン電圧以下
マルチ・コアテスト構造により、ISO、DC、ACの個別テストステーションで並列、非同期テストモードに対応

対応アプリケーション

あらゆるパワーデバイス・アプリケーションに対応する単一のプラットフォーム

ウェハ

ウェハレベルでパワーデバイスをテストし、歩留まりを向上させ、次の製造プロセスのコストを削減します。

KGD

良好なダイの性能を証明するために、フィルムフレームから個片化されたダイの完全なテストを実施します。

ディスクリート

Si/SiC/GaNテクノロジーに基づくディスクリートデバイスの完全なテストを実施します。

IPM

インテリジェントパワーモジュールのIGBTおよびドライバコンポーネントの完全なテストを実施します。

DBC AMB

モジュールアセンブリ前の直接結合銅基板の完全なテストを実施します。

IGBTモジュール

実際の動作条件下でのパッケージ化されたIGBTモジュールの完全なテストを実施します。

マルチコア構造

1つのテスター/6つのテストステーション

パワーデバイス用電気特性検査システムDOT800Tはマルチコア構造で、1〜6個の独立したテストコアを装備しています。専用のステーションでISOテスト、ACテスト、DCテストを実行でき、それぞれに専用の独立したコントローラーがあります。1つのシステムで、6つの強力なテスターの機能と効果を得ることができます。
各コアは、特定のテスト要件と操作フローに従って、AC、DC、またはISOテストステーションに割り当てることができます。構成は拡張性があり現場でアップグレード可能であるため、テスターのセットアップをさまざまなデバイス要件に適合させることができます。各テストコアコントローラがテストリソース、計測器接続、およびテストプログラムの実行を管理するため、さまざまな異なるテストプログラムを確実に並列にも非同期モードでも実行する事が可能です。

マルチコア構造

コンタクトユニット

電源テストに最適なリソース

DOT800Tは、新世代のワイドバンドギャップ技術の性能と信頼性を確保するように設計されています。また、パワーデバイスのテスト用に最先端の専用機器で構成しており、高電圧、大電流、高電力、および高周波スイッチングをサポートします。テストでは高電圧と電流を同時に供給でき、優れた電流測定感度と高周波内蔵デジタイザにより、リークおよびブレークダウン測定で最高の分解能と精度が保証されます。
オンモジュールのセットアップ変更用のローカルセットアップメモリと、ランプとトリガを生成するための組み込みマクロにより、テスト時間を短縮できます。モジュール間のシステム全体のハードウェア同期、および高電圧および大電流モジュールの組み込みアラーム(過温度、過電流、フローティング、ケルビンなど）は、安全で信頼性の高いマルチテストモードの動作の基礎となっています。

ISOテスト

最大 12kV/10mA DC
最大 10kV/20mA AC
放電電流を制限する出力マトリックスを備えた高電圧安全スイッチにより、あらゆる条件で安全なテスターの動作を保証

ACテスト

最大6kV、最大3kA
最大10kAの短絡テスト
最大8つの独立したプログラマブル・ゲート・ドライバ
2〜8個のマルチパルス
10GS/秒のサンプルレートデジタイザ

DCテスト

中電力V/Iソース（±100V、±2A、最大16Aまでギャング可能）、8つのドライバと8つのデジタイザを備えた完全にフローティングで独立
最大20kVの高電圧発電機
最大4kAパルスの大電流発生器、テスト時間を短縮するための自動ランプ発生器付き

低インダクタンス

25nH以下のストレーインダクタンス（ソケット含む）

高出力、高周波デバイスの動的テストには、測定性能だけでなく、テスターの接続レイアウト、ソケット、コンタクタの慎重な設計も必要であり、信号経路全体に沿って低ストレーインダクタンスを保証し、テスト中の電圧オーバーシュートを最小限に抑えます。SPEA社によって開発および製造されたコンタクトユニットにより、業界標準およびカスタムパッケージの両方で、周囲、デュアル温度、または三温度テスト用の使いやすさ、性能、および最小ストレーインダクタンスを保証する完全なテストソリューションを提供することができます。
ウェハ、KGDおよびIGBTモジュールの場合、ロボット自動処理機能を搭載し、生産ラインに直接統合するのに最適なテストセルも提供可能です。

低インダクタンス

ユーザビリティ

ATOS C2

SPEA社が開発したパワーデバイステスター用のオペレーティングソフトウェア ATOS C2は、プログラミング、デバッグ、テスト実行に対応し、プロダクションモード用のツールセットで非常に高い操作性を備えています。

テストプログラムの生成とデバッグ

ソフトウェアライブラリがすでに実装されているコードレス開発
テスト対象デバイスのさまざまなセクション（単相、3相、IGBTなど）の波形を視覚的に比較するためのプロット
全てのモジュールでV/I監視用アクイジション・メモリ搭載
テストモデルに含まれる全てのパラメータを編集可能
テストフローは臨機応変に変更可能で、テストプログラムの再編集は不要

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