四重極型質量ガス分析計
INFICON社製四重極型質量ガス分析計 Transpector MPS/Transpector MPH
INFICON社製四重極型質量ガス分析計 Transpector MPS及びTranspector
MPHは、どちらも業界最高クラスのデータ収集速度、最小検知分圧（MDPP）、S/N比を実現する、スタンダード、およびハイパフォーマンス残留ガス分析機（RGA）プロセス監視システムです。
どちらもランニングコストが低くて平均故障間隔（MTBF）長く、時にMPHは他の残留ガス分析器(RGA) と比較して最終的な収益向上の実現が可能です。
特長
Transpector MPS
スタンダード型
Transpector MPH
ハイパフォーマンス型
デュアルフィラメント設計
- バックアップ用のフィラメントが予期せぬシステムダウンを防ぎ、RGAの長期稼働が可能
- 用途に応じたフィラメントを選択でき、（MPHのみイットリアコーティング/タングステン選択可能） プロセスガスによるフィラメント寿命への影響を最小化する事が可能
ランニングコストを削減し、収益向上に貢献
- フィラメントキットの交換が可能で、従来型RGAのイオンソース全体を交換することに相当
- このコスト削減効果により、両機種ともランニングコストが大幅に軽減
放出ガスの影響を抑えた高感度計測
- フィラメント陰極、陽極グリッド、リペラーの電位バランスが良く、不要なガス放出が抑えられバックグラウンドが安定し、高感度な計測が可能
超高速データ収集による監視
- 最大データ速度は1ポイントあたりMPS：3ms、MPH：1.8 ms
1台のPCから複数台を制御可能
- コンパクトな設置サイズで省スペース設置が可能
仕様
| 質量レンジ | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| センサ長（真空側） | 14.3cm | 19.3cm | 14.3cm | 19.3cm | 14.3cm | 19.3cm | 14.3cm | 19.3cm | 14.3cm | 19.3cm | |
| 質量範囲 | 1～100amu | 1～200amu | 1～100amu | 1～200amu | 1～300amu | ||||||
| 検出器タイプ | FC | EM/FC | FC | EM/FC | FC | EM/FC | FC | EM/FC | FC | EM/FC | |
| フィラメントライプ | Y₂O₃/Irデュアルフィラメント | Y₂O₃/Ir（一般用途用）または タングステン（ハロゲン環境用）デュアルフィラメント |
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| 分解能 （1993 AVS 推奨方法） |
全質量範囲に渡り、＜1amu（ピーク高さの10%位置における値） | ||||||||||
| 温度係数 （30分の暖機運転後、連続8時間計測） |
1℃あたりのピーク高さの＜1%（FCのみ） | ||||||||||
| 感度 amps/Pa |
FC | 2.3×10E-6 | 4.5×10E-6 | 3.8×10E-6 | 3×10E-6 | ||||||
| 最小検知分圧 256ms dwell Pa* |
FC | 3.5×10E-10 | N/A | 3.5×10E-10 | N/A | 1.6×10E-10 | N/A | 2.1×10E-10 | N/A | 2.7×10E-10 | N/A |
| EM | N/A | 2×10E-12 | N/A | 2×10E-12 | N/A | 9.3×10E-13 | N/A | 1.3×10E-12 | N/A | 1.6×10E-12 | |
| 最小検知分圧 4s dwell Pa* |
FC | 4×10E-11 | N/A | 5.3×10E-11 | N/A | 6.7×10E-11 | N/A | ||||
| EM | N/A | 2.7×10E-13 | N/A | 4×10E-13 | N/A | 5.3×10E-13 | |||||
| 最大データ速度 （アナログスキャンまたは選択ピーク） |
1ポイント当たり3ms | 1ポイント当たり1.8ms | |||||||||
| ゼロブラスト （Mass2において） |
＜100ppm | ＜5ppm | ＜65ppm | ＜100ppm | |||||||
| 全圧測定範囲 Pa** |
2.7×10E-5 - 6.7×10E-2 | ||||||||||
| 全圧測定範囲 Pa** |
2.7×10E-5 - 6.7×10E-2 | ||||||||||
| 最大ベーキング温度 （電子ユニット取り外し） |
300℃ | ||||||||||
| センサ最大動作温度 | FC | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ | 200℃ |
| EM | N/A | 150℃ | N/A | 150℃ | N/A | 150℃ | N/A | 150℃ | N/A | 150℃ | |
| 入力電源 | 20～30VDC、30W Max.-標準24VDC 1.25A Max. | ||||||||||
| インターネット通信 インターフェイス |
標準：CAT5eイーサネットケーブル接続 | ||||||||||
| 標準校正器 （オプション） |
N/A | EM校正用のアルゴン、または調整用のミックスガス | |||||||||
| リレー出力 | 1系統、24V、0.5A | ||||||||||
| 入力電源 | アナログ入力×1系統、デジタル入力×2系統 | ||||||||||
| LEDインジケータ （緑） |
電源ステータス×1、エミッションステータス×1 | ||||||||||
アプリケーション
- 真空炉のエアリークを察知し、アラーム・トリガー・eメールにて自動通知
- 成膜プロセスでのPVDシステムにおいて、存在するガス種を手動または自動的に特定
- 低圧熱処理プロセスにおいて、悪影響が懸念されるガスの存在と相対量を通知
メーカー様HP
- Transpector MPS Transpector ™ MPS | INFICON
- Transpector MPH Transpector ™ MPH | INFICON
その他
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