差動排気系付き四重極型質量ガス分析計
INFICON社製差動排気系付き四重極型質量ガス分析計 Transpector CPM
INFICON社製四重極型質量ガス分析計 Transpector CPMは半導体業界において長年市場をリードする残留ガス分析機（RGA）プロセス監視システムです。
コンパクトな差動排気システム、高速スキャン、高感度クローズドイオンソース、HexBlockインレットなど様々な優れた特長により、多種多様なご研究に最適な高速ガスモニタリングを実現します。
INFICON社とは
INFICONはInstruments for Intelligent
Controlの頭文字から作られた社名で、その名の通り「高度な管理・制御のための計測器」に特化した企業であり、2000年にそれまでUNAXIS Holding (現OC Oerlikon Corp
NA) 傘下のもとLeyboldやBalzersのブランド名で認知されていた真空機器・装置グループの計測器部門が独立してできました。
このため、設立は2000年ですが、その歴史は約100年以上前ドイツで開発された真空ポンプにまで遡ります。
特長
業界最先端の測定技術
- 最新の電子制御技術によりRF設定時間を大幅に短縮 ALD分析にとって不可欠な高速測定が可能
- 特許取得の低ノイズ・高ゲイン電子増倍管を使用し、長時間の継続的モニタリングが可能となり生産性向上とコスト削減を実現
汎用性
- HexBlockインレットにより、最大で3つの異なるプロセス圧力がサンプリング可能
- 高真空から大気圧の幅広い圧力範囲に対応
堅牢性
- 腐食性ガスに対応（エッチング、CVD等）
- クローズドイオンソース（CIS）採用
- CDG（耐食型隔膜真空計）にてプロセス圧力を常時モニタリング 圧力の異常変動時にはシステムを自動的に保護
仕様
| 質量レンジ | 1～100AMU | 1～200AMU | 1～300AMU |
|---|---|---|---|
| ピーク幅 | ＜1AMU | ||
| イオンソースタイプ | クローズドイオンソース | ||
| 全圧レンジ | 6.7E-5～1.3E-1Pa | ||
| 全圧精度 | ±25% 1.3E-4～1.3E-1Pa | ||
| イオンソース最大動作圧 | 1.3E-1Pa | ||
| イオンソース公称動作圧 | 2.7E-2Pa | ||
| システム動作圧 （オリフィス/キャピラリ装備時） |
1.3E-6Pa～1.2気圧 | ||
| 感度 | |||
| 低エミッション、FCモード | ＞3.0E-8amps/Pa | ＞1.5E-8amps/Pa | ＞>7.5E-9amps/Pa |
| 高エミッション、FCモード | ＞1.5E-7amps/Pa | ＞7.5E-8amps/Pa | ＞3.8E-8amps/Pa |
| 最小検知分圧 | 1.3E-11Pa | 2.7E-11Pa | 5.3E-11Pa |
| 最大データレート （アナログスキャン、選択ピーク） |
1.8ms/ポイント （555データポイント/秒） |
||
| アバンダンス感度 | ＜5ppm | ＜10ppm | ＜100ppm |
| ゼロブラスト | ＜2ppm | ＜25ppm | ＜200ppm |
| 検出限界 | ＜1ppm | ＜2ppm | ＜4ppm |
| リニアリティ | ±20% | ||
| 最小バックグラウンド圧 | 1.3E-6Pa | ||
| センサー/インレット最大動作温度 | 150℃ | ||
アプリケーション
- ALDを含む先進プロセス
- 金属、絶縁幕、シリコン、および高密度プラズマエッチングを含むエッチングプロセス
- High-k、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD Low-k、PE-CVDなどのCVDプロセス
- 拡散およびエピタキシャルプロセス
- 300mmウエハ脱ガスプロセス
- イオン注入
メーカー様HP
- Transpector CPM Transpector ™ CPM 3 | INFICON
その他
- 2024年8月6日（火） 13:00～14:00 ウェビナー開催（参加無料）
インフィコン社製質量ガス分析計MPS/MPH、CPMのご紹介
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