プラズマ装置/プラズマ表面処理

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Diener社最新技術動向

注目製品

粉体親水化用プラズマ装置（パウダートリートメント）

粉体や、ミクロサイズの材料、電子デバイス等の親水化が可能です。 360㏄、1リットルのボトル型の粉体処理装置や、年間にトン単位で製造可能な大型装置まで取り揃えています。
プラズマ中で粉体を高効率に撹拌することで、効果的に粉体親水性を付加することが可能です。

Diener社製プラズ装置/プラズマ表面処理

Diener社プラズマ装置は、電子基板や金属・プラスチック材料、粉体等、材質・形状を問わずプラズマの処理が可能です。実行可能な処理は、プラズマクリーニング、表面改質、親水性改善、レジストアッシング、パウダートリートメントなど、様々なプロセスに使用されている汎用装置です。

低圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置

低圧プラズマ装置（真空プラズマ装置）

Diener社の低圧プラズマ装置は、30Pa～80Paの真空環境下でプラズマによる処理を行う装置です。酸素プラズマによる親水性の改善や物体表面の有機物除去、アルゴンプラズマを利用しての酸化膜除去や、フッ素を利用してのエッチングなど様々なプロセスを実行可能です。

特長

40～100ＫＨｚの周波数を利用してプラズマを発生させる為、マッチングボックスが不要。
製品の大きさに合わせて、小型の卓上タイプや、2000リットルの巨大チャンバー等の製造が可能。
ガラス、金属、プラスチック、繊維、粉体と材質を選ばずに、実験が可能。
親水化、有機物のクリーニング、酸化膜除去、レジストアッシング、撥水膜の形成等、様々な用途に使用可能。

低圧プラズマ処理装置について、詳しくはこちらをご覧ください。

低圧プラズマ放電

低圧プラズマ装置 FEMTO

低圧プラズマ装置 NANO

大気圧プラズマ装置

Diener社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。そのプラズマを大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。

特長

エアーを利用したプラズマは、ランニングコストが安く、メンテナンスも簡単です。
工場ラインやロボットラインへ設置可能で、工場からのオンライン制御も可能です。
発信機も小型で、製造装置の内部に格納できます。
物質表面の有機物除去や、親水性の改善による接着性改善、密着性改善に効果があります。
100V電源と0.5MPa~0.8MPaの高圧エアーのみで、プラズマを照射することができます。

大気圧プラズマ処理装置について、詳しくはこちらをご覧ください。

装置：プラズマビーム
プラズマの種類：アークプラズマ

装置：APC500
プラズマの種類：コロナ放電

ドイツDIENER社について

ドイツDiener(ディエナー) Electronic社は1993年に設立され、研究開発・少量処理用の小型モデルを始め、大型処理機まで幅広くプラズマクリーナーを取り扱っており、既に国内でも半導体、自動車関連アプリケーションを始め、様々な業界にて納入実績がございます。国内の販売台数：230台以上、世界の販売台数：6000台以上を誇ります。