マニュアルダイボンダー/フリップチップボンダー
T-5300/T-5300-W
Z軸モーター制御マニュアルダイボンダ/フリップチップボンダ
T-5300/T-5300-W
シンプルな操作性に加え、ヘッドはモーター制御により精密なボンディング荷重制御を実現させた、マニュアルダイボンダ／フリップチップボンダ。
Z軸操作はプログラムで荷重設定を行うことができ、またZアームによるマニュアル操作も可能。
モデルT-5300-Wはウェハキャリア搭載で最大8”ウェハからのピックアップに対応。
T-5300/T-5300-Wの主な特長
- シンプルな操作性で誰にでも簡単にチップ・微細部品の搭載が可能
- 精密位置調整用マイクロゲージ搭載
- Z軸（ヘッド）はモーター制御で精密な搭載荷重制御に対応
- タッチパネルで接合パラメーターを登録可能なコントロールユニット搭載
- 広いワークエリア
- 各種オプションで幅広いアプリケーションに対応
- ディスペンサ標準搭載
- オプションのビームスプリッターカメラでフリップチップ実装対応
- ウェハからのピックアップに対応（最大8”、モデルT-5300-W）
T-5300/T-5300-Wの操作性
XY軸（ステージ）
- スムーズなXYステージ操作性を実現。
- 精密位置調整用マイクロゲージ搭載、微細な位置調整に対応
Z軸
- モーター／ロードセルによるプログラム可能な荷重制御（Z軸移動分解能1µm）で高度な荷重制御が要求されるアプリケーションにも対応。（Zアームによるマニュアル操作も可能）
コントロールユニット
- 各種接合パラメーター（搭載荷重／速度／時間など）をプログラム可能なコントロールユニット搭載
- 各オプション仕様により、ヒーター昇温タイミング（荷重検知同時スタート等、冷却タイミングの設定）、超音波発信タイミング、Z軸搭載時間と上昇タイミング等のパラメーターを任意で設定可能
マニュアル機ながらも豊富なオプションを追加可能
- ワッフルパック、ゲルパック
- 各種加熱ステージ
- ディスペンサ
- スタンピング
- スクラブ
- ツールヒーター
- 成形ハンダ搭載用コレット
- チップ反転機構
- 超音波接合ユニット
- ビームスリッターカメラ（フリップチップ搭載／精密搭載向け）
- UVキュアリング
動画
対応アプリケーション
- ダイアタッチ
- チップ選別
- MEMS
- MOEMS
- VCSEL
- RFID
- ペースト接合
- フリップチップ実装
- 共晶接合
- 各種高精度部品搭載 （追加オプションで対応するアプリケーションも含まれます）
主な仕様
| ステージ稼動範囲 | XYステージ：220x220mm、Z軸（ヘッド）：120mm
|
|---|---|
| ウェハテーブルサイズ （モデル：T-5100-W） |
最大：8” ※ウエハ突上げ機構（ダイエジェクター仕様） |
| θ回転 | 360°（マニュアル操作） |
| 部品搭載可能精度 | ±10μ
※オプションのフリップチップビームスプリッタ ”Flip-chip Ultra”使用時の参考搭載精度：±1μ |
| Z軸荷重制御 | 20-4,000g |
| Z軸移動分解能 | 1μm |
| 寸法 | W1,155mmxD921xH728mm |
| 重量 | 95kg（＋40kg ※追加オプションに起因） |
| 電源、ユーティリティ | 100-220V、圧搾空気5-6 bar |
| 接続口 | 真空 0.6 bar |
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