ボンドテスターによるパワーデバイスの強度試験のご案内

パワーデバイス・パワーモジュールの各種強度測定

車載デバイスを初めとしてパワーデバイス・パワーモジュールでは高い信頼性が要求されます。 材質・線径の異なるワイヤ・リボンが混在し、最近では次世代パワーデバイス向け開発のため、各種材料・素材の評価も盛んに実施されており、強度測定の重要性が改めて注目されています。 オランダXYZTEC社のボンドテスターCondorは、複雑なニーズに対応する多機能ボンドテスターとして、世界のパワーデバイス、パワーモジュール製造メーカー、材料メーカーに多数の納入実績がございます。 ユニークな回転ヘッドやその操作性により、研究開発のみならず、量産の品質管理においても高い評価を受けております。

アルミワイヤ（太線・細線）の測定

ワイヤウェッジシェアテスト


ディープアクセス対応

金線ワイヤよりも線径が太く、特に太線の場合、金線用よりも対応レンジの高いセンサーが必要とされます。 更に太線の場合、通常のプルフックによる測定では接合部の評価が正しく実施出来ないため、ツィーザープルテストを実施されている事例も多々ございます。 Sigmaのツィーザーユニットは回転式ヘッドに内蔵可能で、掴み荷重・掴み量の細かい制御にも対応し、各種線径のツィーザープルテストに柔軟に対応します。
シェアテストにおいては、通常シェアツールとワイヤの平行出し作業が必要で、ワーク側をθ回転させることで平行出しを行いますが、Sigmaでは回転式シェアセンサーにより、簡単・短時間での平行出しを実現。 作業時間の大幅短縮・作業者負担の軽減を実現し、多くのユーザー様に高いご評価を頂いております。
また、標準仕様で約47mmのディープアクセス対応。オプションのロングツールでさらに深いパッケージにも対応します。

アルミリボンの測定

リボンプルテスト

アルミリボンにおいても、ワイヤと同様のプル、シェア測定が実施されます。 接合面積が大きいため接合条件によっては10kgf以上の高荷重に対応するセンサーが必要となります。 Sigmaでは回転ヘッドに6種類のセンサーを内蔵可能なため、1台で幅広い用途に対応します。

金線（ボールボンディング）の測定

6センサー内蔵可能な回転式測定ヘッド

金線・アルミ線が混在するデバイスの場合、一般的なボンドテスターでは、プル・シェアセンサーの切替、更に対応レンジの異なるセンサーへの切替作業が頻繁に発生し作業者の大きな負担となっている上に、センサーユニットの落下等によるセンサーの故障、プルフック・シェアツールの破損によるダウンタイム発生の原因となります。 Sigmaは回転式ヘッドに最大6種類のセンサーを内蔵可能なため面倒なセンサーの付替作業は不要。 高速なステージ速度、回転式シェアセンサーとの組み合わせにより大幅な測定時間の短縮に貢献します。

加熱ダイシェア

次世代パワー半導体のSiC、GaNでは、動作温度の高温化により加熱時のせん断強度測定への要求が高まっております。 最高温度500℃まで対応するヒーターワークホルダにより、Sigmaでは最大200kgfのシェア強度測定に対応します。（200kgfセンサーも回転式ヘッドに内蔵可能です。）なお、常温シェアの場合は最大1000kgfのシェア測定に対応するモデルSigmaHFもございます。 また、ユニークなセルフアライメントシェアツールにより、ダイとツールの平行出しの問題も解決致します。

ダイシェア

セルフアライメントシェアツール

超音波接合された端子の強度測定

Sigma HFは最大1000kgfのシェア・プルテストに対応。超音波金属接合された端子、シンタリングされたダイの強度測定に最適。画像処理による自動測定にも対応。

高荷重測定対応モデル Sigama HF

オランダXYZTEC社のご紹介

XYZTEC 本社(オランダ)

2000年に設立されたオランダのボンドテスター専門メーカーです。XYZTEC社ボンドテスター最大の特徴である回転式測定ヘッドを武器に、ヨーロッパを中心にシェアを拡大しております。
新しい測定技術の開発にも注力しており、独フラウンホーファー研究機構や大学研究機関との共同研究も注目されています。
新製品のSigmaは2011年11月にドイツの展示会Productronicaで発表以来大きな注目を浴びており、今後の成長が大きく期待されています。
テクノアルファ株式会社は2003年より販売・技術サポートを提供しております。

その他

ボンドテスター関連ページ

• ボンドテスタートップページ
  XYZTEC Condorシリーズ製品ラインアップ
• 最新モデルボンドテスター Sigma
  測定精度、操作性、拡張性の全ての面で業界をリードする最新モデル
• ボンドテスターのユーザーフレンドリーな操作性
  Sigmaの快適な操作性、競合他社製品を凌駕するその性能をご紹介します
• ボンドテスターによるパワーデバイスの強度試験
  パワーデバイス・パワーモジュールの各種強度試験におけるCondorボンドテスターの使用例のご紹介です
• リードフレーム製品の各種自動測定に最適な搬送・クランプ、マガジンハンドラーシステム
• ワイヤープルテスター（単機能ヘッド搭載仕様）
• 高荷重測定対応モデルボンドテスター Sigma HF
  パワーデバイスモジュールの電極・バスバーのシェア強度測定に最適な高荷重測定対応モデル
• 12インチウェハ対応ボンドテスター Sigma W12
  最大12インチのウェハに対応、ウェハ上のバンプのシェアテスト・ツィーザープルテストに最適なモデル

ボンドテスター アプリケーション例

• ボンディングワイヤ・リボンのプルテスト
• ボンドテスターによるダイシェアテスト
• ボンドテスターによるスタッドプルテスト
• ガラス封止されたパッケージリッドの接合強度評価
• Cuピラー（銅ピラー）の強度測定

ボンドテスター関連製品

• アルミ線ワイヤボンダ・リボンボンダ
• パワーモジュール向け新型ワイヤボンダ・リボンボンダー Asterion
• ウエッジボンディングツール洗浄サービス