Sigmaボンドテスター
ボンドテスターのユーザーフレンドリーな操作性

XYZTEC

回転ヘッドに6種類のセンサー

回転式測定ヘッド
回転式測定ヘッド

XYZTEC社Sigmaボンドテスター最大の特徴である回転式測定ヘッド。お客様のご要求仕様に応じて最大6種類のセンサーを自由に組み合わせ可能。ソフトウェアにて、センサーまたは測定設定を選択するだけでヘッドが回転し、すぐに測定作業を実施可能です。作業者によるセンサーの付け替え作業は不要なため、時間短縮、交換に伴う故障・破損防止等のメリットがございます。

1）センサー構成例その１：パワーデバイス製造現場でのボンディングワイヤの品質管理

金線・アルミ線の各種線径が存在。始業時、ロット切替時、ボンディングキャピラリ・ボンディングツール交換時の測定など、測定頻度は極めて高い測定現場。測定種類もプル、シェア、ツィーザープルテストと多種多様。

センサー種類 用途
No.1 プル100gf 金線・アルミ細線のプル
No.2 プル1kgf アルミ太線のプル
NO.3 プル1kgf・ツィーザー搭載 アルミ太線のツィーザープル
No.4 シェア100gf 金線のボールシェア、アルミ細線のウェッジシェア
NO.5 シェア1kgf アルミ細線・太線のウェッジシェア
NO.6 シェア10kgf アルミ太線のウェッジシェア
2）センサー構成例その2：発光素子の研究開発・プロセス開発

ダイシェア・フリップチップシェアに加えて金線のプル・ボールシェアテストも実施。

センサー種類 用途
No.1 プル100gf 金線のプル
No.2 シェア100gf 金線のボールシェア
NO.3 シェア1kgf 微細なダイのダイシェア
No.4 シェア10kgf ダイシェア
NO.5 シェア100kgf ダイシェア
3）センサー構成例その3：パワーデバイスの開発

ダイの新規接合材料の評価、従来のアルミ線に加えて新製品の開発のためAlリボン線、銅太線の接合強度測定も実施。

センサー種類 用途
No.1 プル1kgf Al太線のプル
No.2 プル10kgf Alリボン線、銅太線のプル
NO.3 シェア10kgf アルミ太線、Alリボン線、銅太線のシェア
No.4 シェア100kgf SiC、GaNダイシェア、銅太線のシェア
NO.5 シェア200kgf SiC、GaNダイシェア

回転式シェアセンサーで作業時間の大幅短縮

Sigmaのシェアセンサーはジョイスティックでθ回転可能。シェアセンサーの回転角度に応じてXYステージも移動方向が変わります。そのため、これまでワークホルダをθ回転させて行っていたシェアツールと測定対象物の平行出し作業が不要に。この機能は、特にアルミ線のウェッジシェアの測定作業の所要時間を大幅に短縮する効果があります。

高速・広可動範囲を誇るステージ

X軸の移動範囲は370mm。長尺リードフレームもワークホルダ上での付け替え無しに、1回の固定作業でフレーム全域の測定が可能。XYZ全軸が最大50mm/sにて高速動作。広範囲のステージ範囲もストレスなく移動。ステージは光学リニアエンコーダー搭載の高精度制御、ボールネジ・ステッピングモーター駆動でスムーズ。ワークやワークホルダ交換作業もスムーズに行えます。

使いやすい実体顕微鏡

ボンドテスターでは実体顕微鏡の使用時間が長くなります。Sigmaボンドテスターの顕微鏡マウントアームは、角度や前後左右の位置の調整が簡単で、各作業者が快適に作業できる視野を容易に得られます。サンプルの取り付け・取り外し時には、アームを90°スイングし退避出来るので作業の邪魔になりません。スタンダードモデルでは、LED照明は顕微鏡マウントアームに3個搭載。影が出来にくく、また顕微鏡の位置調整に追随するため、頻繁に調整する必要はありません。照度はソフトウェア画面上で調整可能です。

90°スイング可能
90°スイング可能
マウントアーム装着LED照明
マウントアーム装着LED照明

業界最高峰　測定誤差 ±0.075%のセンサー（ロードセル）

センサー（ロードセル）

Sigmaのセンサー（ロードセル）は24ビットADコンバータを採用、分解能は16,777,216です。一方、競合他社製品は16 ビット（分解能65,536）または12ビット（分解能4,096）。16ビットADコンバータの場合、Sigmaに搭載されている24ビットADコンバータのわずか0.39%の分解能しか有しておりません。下のグラフの通り、その分解能の差は一目瞭然です。

ADコンバータのビット数と分解能
ADコンバータのビット数と分解能（横軸:ビット数、縦軸：分解能）

荷重センサーに搭載されている温度センサー
Sigmaの荷重センサーに搭載されている温度センサー

また、ロードセルには温度センサーが搭載されており温度補正に対応。このため、他社製品で推奨されているウォームアップタイム（約30分）が不要で、装置立ち上げまたはロードセル切替時も、待機時間ゼロですぐに測定を実施することが出来ます。

次世代の標準機XYZTEC社製Sigmaを是非お試しください

本社ショールーム（東京都品川区、最寄り駅：JR五反田駅）では、ほぼ常時デモ機を展示しております。その快適な操作性、他社製品を寄せ付けない性能を是非実機でご確認ください。デモ機によるテストについては、下記お問合せフォームよりお気軽にお問合せください。

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