ボンドテスター（プルテスター、シェアテスタ）
Sigma
最新モデル Sigma
ボンドテスター専門メーカーのオランダXYZTEC社のノウハウ、最新技術を投入して設計・開発された次世代のボンドテスターSigma（シグマ）。 測定精度、操作性、拡張性の全ての面で業界をリードする最新モデルです。
Sigmaの主な特長
- 回転ヘッドに最大6種類のセンサ（ロードセル）を搭載可能
- 温度補償・クリープ補正対応で高精度・繰返し精度の高い測定を実現
- テーブルの可動範囲は、X軸370mm（オプション600mm）、Y軸168mm。
移動最大速度は50mm/secでストレスフリーな操作性 - 下向きカメラを1台標準搭載（標準モデル）。静止画記録、オプションの自動測定のパターン認識に
- フルスペックの標準モデル（Sigma）と廉価版（Sigma Lite）の2種類をラインアップ
- プルテスト専用仕様でのご提案も可能です。
6センサー搭載回転ヘッド・センサ（ロードセル）
新設計の回転ヘッドは最大6種類のセンサ（ロードセル）を搭載可能。剛性の大幅な向上により最大200kgfのシェアテスト、100kgfのプルテストにも対応。半導体・電子部品分野の強度測定ニーズにこの1台で幅広く対応します。
また、6種類のセンサを1つのヘッドに搭載することで高いコストパフォーマンスを実現。
プル、シェア、ツィーザー等の各種測定の切替に伴うオペレーターによる煩わしいセンサ（ロードセル）の取り替え作業は不要。オペレーターはソフトウェアから任意の測定パラメータを選択するだけで様々な測定を実施することが出来ます。
自動測定時には異なる測定の種類を組み合わせることも可能ですので、プル・シェア・ツィーザーを組み合わせた自動測定にも対応。
また、各センサユニットには温度補償センサが搭載されており、測定誤差・安定性も業界最高レベルを実現。万が一の故障の際にもユーザーにて簡単に交換可能。センサは出荷前に校正済みで交換後すぐに使用可能。
スタンダードモデルでは、100gf/1kgf/10kgfシェアセンサーは回転式も選択可能で、ワークホルダによるサンプルの回転作業を必要最小限にすることが可能です。これにより測定作業効率が格段に向上します。
動画
回転式測定ヘッドの回転動作
回転式シェアセンサ（アルミ線ウェッジシェア）
プルセンサアセンブリ
シェアセンサアセンブリ
使いやすさと高機能を両立したソフトウェア
使い易さ、豊富な分析機能、ユーザーニーズに応えるカスタム機能を盛り込んだ新設計のソフトウェア。より直感的に、マウスのクリック回数は最小限に操作することが出来ます。
- ログインするユーザーの権限や職種に合わせてアクセス可能なメニューを設定可能
- カメラ画像、動画取り込み
- データエクスポート対応（pdf, xls, xlsx, xml, docx, csv, txt, pptx等）
- 充実のデータフィルタリング機能
- 将来のマイナーソフトウェアアップグレードは無償提供
- ワイドディスプレイ対応の画面設計
- 多言語対応（日本語対応）
自動測定プログラム機能を標準搭載（標準モデルSigma）
標準搭載のカメラ
簡易パターン認識に対応した座標ティーチングによる自動測定機能を標準搭載。 回転ヘッドにより、プル・シェア等の異なる測定種類を組み合わせた自動測定に対応。 オプションの画像処理対応自動測定機能では、各テストポイントを画像処理との組み合わせで認識し、より高精度な自動測定に対応します。 品質管理のルーティーンの測定作業や研究開発での大量の測定作業時の作業者負担の軽減にご活用頂けます。
品質管理から研究開発の現場まで幅広く対応
温度補償・クリープ補正機能を搭載した新設計のセンサにより、ウォームアップタイム不要。周辺の温度変化の影響を受けること無く信頼性の高い測定を実現。
導入後はMSA-3（計測システムの解析）準拠のユーザー校正でリニアリティの高い測定精度を確保。
さらにGR＆R（Gage repeatabilityとreproducability、反復性・再現性の確認）機能をスタンダードモデルSimgaでは標準搭載し、ユーザーにて装置の信頼性を確認出来ます。
スタンダードモデルに標準搭載のカメラでは、測定データと測定後のサンプルの画像を関連付けてデータベースに保存可能。
操作性・メンテナンス
EZシリーズから採用されているジョイスティックは、エルゴデザインにより操作性を大幅向上。
操作ボタンを左右各6個に拡張することで、連続測定中にジョイスティックから手を離すことなく効率良く測定作業を実施することが出来ます。
顕微鏡フォーカスマウントアームは、高さ、角度等をすぐに微調整可能。オペレーターの体格、高さの異なるサンプル／ワークホルダにも容易に対応します。
測定中に発生するサンプルの破片を回収するトレーが内蔵されており、駆動部分へのゴミの侵入は最小限に防止されます。
LED照明は顕微鏡マウント部に3個装備。顕微鏡の角度調整に追随しますので頻繁な調整は不要です。
顕微鏡アーム
EZジョイスティック
ゴミキャッチトレー
LED照明
ワークホルダ・校正用治具・オプション
様々な形状・寸法のサンプルに対応するワークホルダ、オプションを各種取り揃えております。新設計のクリックリリースレバーで、簡単・確実に交換することが出来ます。
一部他社製ボンドテスタのワークホルダ・校正治具を使用可能にする専用アダプタもご用意しており、買換え時の初期コスト削減に貢献致します。
ワークホルダ（一例）
- バイス型（標準品）
- ウェハチャック（最大12インチ）
- ヒーター内蔵型（最高500℃）
- 傾斜ステージ
校正用アクセサリ
- 校正用治具(高荷重用、低荷重用の2種類)
- 各種校正用分銅
その他アクセサリ
- 三眼鏡筒顕微鏡+カメラ(測定中のサンプルの観察・画像/動画取り込み)
- 各種校正用分銅
アプリケーション例
- 金ワイヤ、アルミワイヤ（細線・太線）、金リボンのプルテスト
MIL規格883 Method 2011.7(破壊)、2023.5(非破壊)、DVS2811準拠 - 金線、アルミ線（細線・太線）のツィーザープル/ピールテスト
- 金線ボールシェアテスト（JESD22-B116、ASTM F1269準拠）
- アルミ線（細線・太線）のウェッジシェアテスト
- アルミリボン線のプルテスト、シェアテスト、ツィーザープル/ピールテスト
- はんだボールシェアテスト(JEDEC JESD22-B117A準拠)
- 金バンプのシェアテスト
- ダイシェア、フリップチップシェア、表面実装部品のシェア
- プッシュテスト
- ウェハベンドテスト
- スタッドプルテスト
- Lid Torque（MIL規格883 Method 2024準拠）
- パッケージリード信頼性（MIL規格883 Method 2004準拠）
- 3点曲げ試験
- 4点曲げ試験
- ばね部品繰り返し荷重試験
- クリープテスト
- キーボード/キーパッド繰り返し試験
- コネクタ抜き差し試験
- Cuピラー（銅ピラー）の強度測定
金線ワイヤプル |
金線ボールシェア |
ダイシェア |
はんだボールシェア |
はんだボール ツィーザープル |
アルミ線プル |
アルミ線シェア |
 アルミリボン |
 アルミリボンシェア |
 スタッドプル |
300mmウェハ対応 ウェハバンプ対応モデルW12
最大300mmのウェハバンプのシェアテスト、ツィーザープルテストに最適なモデル。 最高50mm/secのステージ移動速度により広範囲のバンプを短時間で測定。 回転式シェアセンサーによりウェハの回転が不要。セミオートプログラムにより測定作業の省力化も実現。 オプションのブロアー、バキュームクリーナーでツール先端の残渣除去にも対応。
SigmaモデルW12 動画
Sigma Lite（ライト）
X軸の稼働範囲、最高測定荷重、測定誤差を一般的なボンドテスターと同等レベルに抑え、一部機能をオプション化した廉価版モデルです。 回転式測定ヘッドを初めとする主要機能はスタンダードモデルとほぼ同等。 お客様のご要求仕様・ご予算に応じてご検討ください。
廉価版モデル Sigma Lite（ライト）
XYZTEC社 Youtube動画へのリンク
ワイヤ・リボン関連
シェアテスト関連
その他テスト
主な仕様
| 本体寸法・重量 | 620×558×608mm （W×H×D）、45kg（本体のみ） |
|---|---|
| ステージ移動範囲 | X軸：370mm（スタンダードモデル）、168㎜（Liteモデル）
Y軸：168mm Z軸：168mm 移動精度：±0.5μm、分解能：30nm 光学リニアエンコーダー採用 |
| 最大荷重 | スタンダードモデル：Y軸（シェア）200kgf、Z軸（プル、プッシュ）100kgf、X軸：10kgf
Liteモデル：Y軸（シェア）100kgf、Z軸（プル、プッシュ）100kgf、X軸：5kgf |
| ステージ移動速度 | スタンダードモデル：Max 50mm/s
Liteモデル：Max5㎜/sまたは20mm/s |
| 回転ヘッド | 上記センサから最大6種類を任意に選択し搭載 |
| カメラ | 静止画/動画記録、基板認識マーク識別／自動測定パターン認識用
・標準倍率カメラ：倍率400倍、画像分解能2.0μm ・高倍率カメラ：倍率800倍、画像分解能1.5μm ※スタンダードモデルでは標準倍率カメラを1台搭載 ※パターン認識は有償オプションにて対応 |
| ソフトウェア | OS：Windows7 64bit/32bit以上、多言語対応（日本語含む）
記録値：ピーク荷重、平均荷重、エネルギー、変位 品質管理分析機能（X bar、R bar、S bar、CPK、ヒストグラム、パレート、不合格数）、レポート印刷機能、測定データエクスポート機能（XLS,DOC,PPT,PDF,XPS,CSV,TXT,XML,DBF 等）、荷重変移グラフ・破壊モード記録、GR＆R（繰返・再現性確認機能）、自動測定プログラム |
| 校正 |
|
| 安全機構 | ジョイスティック操作中のプロテクション機能、測定中のオーバーロード検出、非常停止スイッチ |
| ユーティリティ | 100～240V（単相）、エア不要 |
※製品仕様は改良のため予告なく変更される場合があります。
※今後のソフトウェアアップグレードで対応予定の機能も含まれております。
センサ（ロードセル）
| レンジ | プル・プッシュ | シェア | 回転シェア
※1 |
USBツィーザー |
|---|---|---|---|---|
| 100gf | ○ | ○ | 選択可 | ○ |
| 1kgf | ○ | ○ | 選択可 | ○ |
| 10kg | ○ | ○ | 選択可 | ○ |
| 100kg | ○ ※1 | ○ | - | - |
| 200kg | - | ○ ※1 | - | - |
※1 スタンダードモデルの場合
誤差：±0.075%（スタンダードモデル）、±0.2%（Liteモデル）
プル・プッシュセンサは全て360°回転
オランダXYZTEC社のご紹介
XYZTEC 本社(オランダ)
2000年に設立されたオランダのボンドテスター専門メーカーです。XYZTEC社ボンドテスター最大の特徴である回転式測定ヘッドを武器に、ヨーロッパを中心にシェアを拡大しております。
新しい測定技術の開発にも注力しており、独フラウンホーファー研究機構や大学研究機関との共同研究も注目されています。
新製品のSigmaは2011年11月にドイツの展示会Productronicaで発表以来大きな注目を浴びており、今後の成長が大きく期待されています。
テクノアルファ株式会社は2003年より販売・技術サポートを提供しております。
その他
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XYZTEC Condorシリーズ製品ラインアップ - 最新モデルボンドテスター
Sigma
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パワーデバイスモジュールの電極・バスバーのシェア強度測定に最適な高荷重測定対応モデル - 12インチウェハ対応ボンドテスター Sigma W12
最大12インチのウェハに対応、ウェハ上のバンプのシェアテスト・ツィーザープルテストに最適なモデル
ボンドテスター アプリケーション例
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